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型号
FSF-100/120
抽气速率（l/s）
120
压缩比
N2：108
H2：5×102
极限压强(Pa)
LF:≤6×10-8
CF:≤6×10-7
电机转速（n/min）
24000
启动时间（min）
＜2
轴承
陶瓷轴承
排气口法兰
KF25
进气口法兰
LF100/CF100
小不平衡量（mg）
15
建议前级泵（L/s）
2
冷却方式
水冷 风冷
冷却水温度（℃）
<20
环境温度（℃）
风冷<32水冷<40
泵体烘烤温度（℃）
≤100
充油量(ml)
12
安装方式
竖直±5°
重量（kg）
8.5
